蓝宝石表面处理对氮化镓光学性质的影响

上传人：彭冬生,冯玉春等；

上传时间： 2011-07-26

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作者	彭冬生,冯玉春,刘文,刘毅,牛憨笨
单位	中国科学院西安光学精密机械研究所；深圳大学光电子学研究所；深圳大学师范学院
分类号	TN304
发表刊物	《光子学报》
发布时间	2008年

　　引言

　　近10多年来,GaN基宽带隙半导体由于在科学研究和实际应用方面的重要意义而受到了广泛的重视,成为当前半导体科学技术领域国际性的研究热点,特别是近几年蓝色发光二极管、蓝色激光器及紫外探测器等光电器件的发展,显示出了GaN基材料巨大的应用潜力[1-3].合适的衬底材料对……

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