标准GaN外延生长流程
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上传人：ledth/整理 上传时间： 2012-11-05 浏览次数： 196 |
大纲
㈠ 高温除杂
㈡ 长缓冲层
㈢ 退火
㈣ 长GaN单晶
㈤ 长N型GaN
㈥ 长多量子阱MQW
㈦ 长P型GaN
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